真空ダイヤフラムポンプは、駆動方法の違いにより、モーター駆動、電磁駆動、圧電駆動のタイプに分類できます。{0}{1}ポンプヘッドの段数に応じて、2 つの-段ポンプが含まれます。耐食性により通常タイプと耐食タイプに分けられ、後者は通常フルPTFE（ポリテトラフルオロエチレン）流路設計を採用しています。
VB-40 耐腐食性-ダイヤフラム ポンプは、PTFE ポンプ ヘッドを備えた 2 段ポンプです。-到達真空度は 15-20 mbar、最大流量は 35 L/min です。 KNF N 920 G は、到達真空度 2 mbar、排気速度 21 L/min の高真空ダイヤフラム ポンプです。 PTFE-コーティングされたダイヤフラムと可変周波数モーターを採用しています。 ULVAC DTC-41K は、到達真空度 1000 Pa の化学的に高耐食性のダイヤフラム ポンプです。50 Hz と 60 Hz での排気速度はそれぞれ 40 L/min と 46 L/min です。 KNF N 035.1.2 AN.18 は、100 mbar の真空、4 bar の圧力、55 L/min の排気速度を備えた真空および圧力両用ポンプです。 B40-8-YK は、到達真空度 6 ～ 8 mbar、最大流量 40 L/min、動作騒音 55 dB 未満の 2 段耐食性ポンプです。また、EYELA小型可変周波数ダイヤフラム真空ポンプシリーズには、DTC-22、DTC-41、NVPシリーズなどのモデルもございます。
